单晶硅滚圆的开发设备

单晶硅滚圆的开发设备我司金刚石滚圆砂轮主要与无锡上机、开源滚圆磨床等设备配套使用。用于单晶硅棒滚圆工艺,磨轮转速,移动速度分钟,进刀量。此外,我们还可提供以下规格砂轮,产品技术指标:规格技术参数直径.内孔.砂层厚度.宽度.金刚石粒度目接合剂树脂砂粒分布均匀金刚石浓度金刚石端面磨砂轮-典型客户江苏、浙江、上海、广东、湖南湖北、内蒙古、河南等地的直拉单晶及铸锭客户。

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单晶硅滚圆的开发设备传统的圆形硅片加工的具体工艺流程一般为:单晶炉取出单晶检查称重量,量直径和其他表观特征切割分段测试清洗外圆研磨检测分档。切片在单晶硅滚圆或切方块工序完成后,接着需要对单晶硅棒切片。切片是硅片制备中的一道重要工序之一,微电子工业用的单晶硅在切片时,硅片的厚度,晶向,翘曲度和平行度是关键参数,需要严格控制。经过这道工序晶锭重量损耗了大约三分之一。太阳电池用单晶硅片的厚度约为,也有报道硅片厚度可为左右。单晶硅锭切成硅片,通常采用内圆切割机或线切割机。内圆切割机是高强度轧制圆环状钢板刀片,外环固定在转轮上,将刀片拉紧,环内边缘有坚硬的颗粒状金刚石。切片时,刀片高速旋转,速度达到。在冷却液的作用下,固定在石墨条上的单晶硅向刀片会做相对移动。这种切割方法,技术成熟,刀片稳定性好,硅片表面平整度较好,设备价格相对较便宜,维修方便。但是由于刀片有一定的厚度,在左右,约有的晶体硅在切片过程中会变成锯末,所以这种切片方。

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